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產品描述
參數
晶圓級PI膠工藝烘箱
Product Description: wafer level PI glue process oven
內部凈化等級可達Class100
The internal purification level can reach class100
內腔無氧設計,滿足20PPM以下的氧濃度需求
The oxygen free design of the inner cavity can meet the oxygen concentration requirements below 20ppm
支持SECS/GEM自動聯機需求
Support SECS/GEM automatic online requirements
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無塵烤箱
地址:上海市浦東新區張楊路2389弄3號樓普洛斯大廈768室 電話:+86 13761002245 郵箱: xiwang@amsemi.com
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