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產品描述
參數
高潔凈度烘箱;
Product Description: High cleanliness oven;
提供不同尺寸內腔,雙腔/四腔/六腔類型設備;
Provide different sizes of cavity, double cavity / four cavity / six cavity type equipment;
根據客戶工藝需求,可選帶HEPA配置,與無HEPA配置;
According to the process requirements of customers, it can be configured with or without HEPA;
支持SECS/GEM自動聯機需求;
Support SECS/GEM automatic online requirements;
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無氧烤箱
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